超纯高纯VCR过滤式垫片

│MF系列仪器保护专用过滤器，全金属材质，专为半导体气体分配系统设计，兼容1/4′'、3/8”及1/2′VCR标准垫圈接口。

此过滤器采用垫片式便捷安装，是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。

在高达400℃环境下，能有效阻隔微粒侵袭，守护敏感气体组件，延长设备寿命，预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型，也可在现有配管上安装，为精密设备提供经济高效的防污屏障。