某国际知名半导体制造商，其芯片生产线需持续供应纯度≥99.9995%、含尘量≤0.01μm的超高纯氮气，用于晶圆封装和回流焊工艺。原有制氮机因后端过滤系统精度不足，导致氮气颗粒污染问题频发，良品率下降5%-8%。
核心挑战
严苛的过滤需求：需拦截粒径>0.003μm的微粒及油雾，避免芯片表面氧化和微电路短路。
高压高温工况：制氮机压缩空气系统压力达15MPa，温度超200℃，传统滤材易变形失效。
长期稳定性要求：需滤芯在连续运行中保持透气性稳定，且耐受酸碱清洗再生。
恒歌过滤解决方案
采用自主研发的 316L不锈钢烧结粉末滤芯，集成于制氮机三级过滤系统中，具体配置如下：
前端预过滤：50μm精度滤芯，拦截大颗粒杂质，降低后端负载。
核心精滤单元：
气体除尘：配置5μm精度烧结滤芯，去除压缩空气中的油雾及亚微米级颗粒。
终端除菌：0.22μm超高精度滤芯组，实现氮气微生物截留率>99.99%，满足ISO 1级洁净度要求。
定制化设计：
采用多柱状叠层结构，流通量提升40%，压损降低至<0.05MPa。
焊接法兰接口与制氮机管路无缝对接，避免二次污染风险。
实施成果
纯度提升：氮气含尘量从0.05μm降至0.003μm，达到SEMI F20标准，芯片封装良品率回升至99.2%;
成本优化：滤芯寿命延长至12-18个月(传统滤芯6-8个月)，年维护成本降低35%;
安全升级：耐受30MPa爆破压力，2024年投运至今零故障，获客户EHS体系认证。
恒歌过滤优势
精密烧结工艺：通过粒度分级压制与真空烧结技术，孔隙均匀度偏差<5%;
全场景适配：支持-200℃至580℃极端工况，覆盖PSA制氮、膜分离制氮等多种机型;
智能运维支持：提供在线压差监测模块，预警更换周期误差<3天。
客户证言
“恒歌的烧结滤芯彻底解决了我们氮气颗粒残留的痛点。其金属材质与半导体产线的兼容性远超预期，现已纳入集团全球采购清单。”
——该半导体企业设备总监
为什么选择恒歌科技?
作为国家高新技术企业，恒歌深耕高精度过滤领域20年，拥有半导体级滤芯全自主生产线及CNAS认证检测中心，已为300+半导体、光伏企业提供氮气净化解决方案。
