MF系列仪器保护专用过滤器、全金属材质、专为半导体气体分配系统设计、兼容114”、3/8”及1/2”VCR标准垫圈接口。此过滤器采用垫片式便捷安装、是MFC模块、精密阀门及稳压设备不可或缺的守护屏障。在高达400℃环境下、能有效阻隔微粒侵袭、守护敏感气体组件、延长设备寿命、预防因微粒污染导致的泄露风险。可选择低压型或高压型、也可在现有配管上安装、为精密设备提供经济高效的防污屏障。
产品特点
1、整体316L不锈钢结构
2、可以作为表面密封的过滤器、所以不需要额外的工作(切割/焊接管道用于过滤器安装)
3、耐高温、耐高压、耐腐蚀
技术参数
| 滤芯材质 | 316L不锈钢粉末烧结 | 壳体/垫片材质 | 316L不锈钢 | |
| 表面处理 | 内表面 | 抛光+电解Ras0.2um | 最高使用温度 | 400°C |
| 外表面 | Ra < 1.бum | |||
| 颗粒拦截粒径 | ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm (参考MPPS，所有颗粒) | 颗粒拦截粒径 | 20.3um | |
